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半导体前道设备

PVD系统 量产型

产地:英国
品牌:SPTS


我们可提供100mm到300mm的PVD系统:

1. 广泛应用于MEMS、先进封装、功率半导体、LED制造、RF集成电路等领域
2. 相比于单晶圆处理,STPS提供了批量处理的方式来提高产能和晶圆的性能
3. 有效的避免二次溅射,减少了颗粒污染
4. 全面积溅射,提高薄膜质量
5. 靶材快速切换(<5mins),与普通磁控溅射相比提高设备工作时间
6. 可靠的处理易碎,变薄,弓形晶圆
7. 具备Super Uniformity选项


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。