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半导体前道设备

PECVD系统 量产型

产地:英国
品牌:SPTS


Delta Systems提供了100mm到300mm的CVD系统

1. 广泛应用于MEMS、先进封装、功率半导体、LED制造、RF集成电路等领域
2. 放射方式对称工艺气体显著提高晶圆片内均匀性(WIW)
3. 多达10路气体管路,可选on-board液体输送系统
4. 复合频率等离子体能力调节应力
5. 有源冷却平台应用在关键,低温[<175°C]封装工艺
6. 可选敏感的de-gassing衬底材料增加单/多晶圆预加热腔室


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。