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半导体检测设备

台阶仪 (探针式)

产地:美国
品牌:Bruker


布鲁克 DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了较高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达5Å。实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

1. 扫描长度:55mm
2. 垂直分辨率:1Ȧ(在6.55um测量范围内)
3. 垂直测量范围:1mm
4. 台阶高度重复性:小于5Ȧ,1σ在1um标准台阶上
5. 探针压力:1-15mg
6. 单次扫描数据采样点:可达120000
7. 样品R-Ɵ载物台:360度手动旋转
8. 手动样品台:100mm*100mm (XY轴)可手动校平
9. 自动样品台  150mm*150mm,(XY轴)可手动校平


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