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产地：美国 品牌：SPTS
集成的自动VHF蚀刻工具，旨在通过受控的无水HF /醇蚀刻工艺执行选择性MEMS蚀刻释放
1. 集成的紧凑型系统包括内置HF气柜以及全自动系统 2. PLC控制具有多用户功能和广泛的安全联锁 3. 可处理300mm晶圆并向下兼容 4. 广泛的过程控制和监控功能可确保批量生产所需的产量，具备较高的可靠性和可重复性
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