产地：英国
品牌：Thermco
产品线包含卧式扩散炉、氧化炉、退火炉、合金化炉及LPCVD等，在许多的半导体制造厂里都有安装应用。
1. 根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为大批量生产型5100/5200系列（6英寸）、科研型2400系列（4英寸）/2600系列（6英寸）/2800系列（8英寸）等；
2. 可处理4~10英寸的基片，每管处理能力分别可达25片、50片、100片及更多；
3. 根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。
4. 扩散炉由的Thermco TMX系统控制。TMXpc控制系统融合了前代TMX的配方编辑和控制模式与可靠的硬件和图形化操作功能。该设备有一台主用户操作电脑MUX用来编辑配方和查看状态，且每条管道都有独立的控制电脑。
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京公网安备11010802042554号
