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半导体检测设备

纳米压痕测试仪

产地:美国
品牌:Bruker


布鲁克的海思创TI980 TriboIndenter同时具有较高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的相关要求,实现了控制上的先进性和高效性,试验上的灵活度与可实现性,测量稳定性,以及系统设计的模块化。

1. 高性能的高速闭环控制
2. 领先的噪音控制
3. 集成的带输入/输出信号的多参数控制
4. 充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要,通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合
5. 多种有效的测试模块配置,包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等
6. 多种有效的测试模块配置,包括
1)纳米压痕:硬度,模量,蠕变,应力弛豫,断裂韧性、高速力学性能成像
2)纳米摩擦:薄膜结合力,摩擦系数,抗划擦性能,磨损
3)扫描探针显微镜成像:形貌和梯度成像,纳米级别定位精度,摩擦力成像
4)动态纳米压痕:随着深度连续测量硬度和模量,存储模量,损失模量,损耗角正切


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