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半导体检测设备

晶圆薄膜应力测试仪

产地:美国
品牌:KSA


高效的薄膜热应力测量系统,具有MOS多光束技术,使KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee!主要特点:

1.  温度范围RT~1000°C,应力测量范围0.5MPa到4×100GPa,曲率重复性<2×10-5 1/m
2.  样品快速热处理功能,样品快速冷却处理功能
3.  温度闭环控制功能,保证较好的温度均匀性和精度
4.  实时应力VS.温度曲线
5.  实时曲率VS.温度曲线
6.  程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全面积扫描
7.  成像功能:样品表面2D曲率成像,定量薄膜应力成像分析
8.  测量功能:曲率、曲率半径、应力分布、应力和翘曲等


KSA晶圆薄膜应力测量基于不同应用,有多种规格可选,如需了解不同型号设备更详细的信息,敬请与我们联系。