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半导体检测设备

聚焦离子束 FIB

产地:美国
品牌:FEI


FEI 公司是创新显微学解决方案的供应者,其产品包括透射/扫描电子显微镜 (TEM/SEM)、聚焦离子束 (FIB) 系统,以及结合了扫描电子显微镜和聚焦离子束 (FIB) 功能为一体的 双束(DualBeam™)系统。 我们的仪器可使多个行业实现纳米级探测,这些行业包括材料科学、生命科学、电子、工业应用和自然资源等领域。


系统专为解决设计与工艺面临的挑战而设计:几何尺寸更小、电路密度更高、采用了特殊材料和复杂的互连结构。使用选配的 IR 显微镜和块状硅刻蚀工具包配置 V400ACE 时,它还能具备背面编辑功能。


为满足10nm节点严苛的电路修改要求,FEI设计了OptiFIB Taipan 系统,以解决设计和工艺所面临的挑战。全新的共轴离子-光子镜筒、电子器件、样品仓和载物台可提供高度可控的射束轮廓和电流、实现准确的导航和离子束定位以及可靠的终点检测。


如需了解不同型号设备更详细的信息,敬请与我们联系。