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半导体检测设备

MEMS动静态激光测振系统

产地:德国
品牌:Polytec


德国Polytec GmbH是一家专业从事激光测振仪研究和生产的公司,它的非接触式激光测量技术在MEMS领域有广泛应用。

该系统功能强大,一套系统既可做MEMS器件动态测试,也可作MEMS器件静态结构测试,非常适合实验室的科技研发及批量生产测试使用。

1. 白光扫描技术用于静态测试MEMS表面特性
2. 实时动态多普勒激光扫描技术
3. 测试MEMS器件异面振动特性
4. 频闪显微技术动态测试MEMS器件共面位移
5. 动态测试MEMS器件共鸣位移响应等特性参数
6. 动态测试MEMS器件的振幅,相位等特性参数
7. 系统集成的探针测试系统可根据实际要求定制,例如,手动、半自动、双面探针台测试系统等。


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。