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半导体检测设备

真空 (变温) 探针台

产地:美国
品牌:SemiProbe


SemiProbe的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级,且升级可在客户现场经行,机台不需返厂。由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等。


直流探针座和RF探针座通用,用户只要一种探针座,换上直流或RF探针,即可做不同的测试,方便又节省成本。其超高精度的亚微米级探针座,保证了高端精密测试的需求。同时探针座和业界主流的各种探针兼容,也大大降低了用户的使用成本。


其他主要技术规格:
1. 可满足18英寸的晶圆基底的测试要求,并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2. 高真空度,真空系统具有自保护功能。
3. 温度变换范围:-60℃-200℃。
4. 可选择液氮或者空气制冷。
5. 手动或者半自动方式探针测试方式。
6. 系统具有完善的通信接口。
7. 可选探针座或探卡测试方式。
8. 可外接黑体或者常见电学信号测试设备。
9. Stage及显微镜相关参数可依据客户要求定制。


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。