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半导体检测设备

手动 半自动 (变温) 探针台

产地:美国
品牌:SemiProbe


SemiProbe的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级,且升级可在客户现场经行,机台不需返厂。由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等。

直流探针座和RF探针座通用,用户只要一种探针座,换上直流或RF探针,即可做不同的测试,方便又节省成本。其超高精度的亚微米级探针座,保证了高端精密测试的需求。同时探针座和业界所有主流的各种探针兼容,也大大降低了用户的使用成本。


该设备主要技术规格:
1.   可满足18英寸的晶圆基底的测试要求,并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.   主要应用领域:器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域
3.   可做直流和微波测试。
4.   系统可在客户现场升级。
5.   可增加高低温及屏蔽系统。
6.   手动或者半自动方式探针测试方式。
7.   系统具有完善的通信接口,并可搭载loadpull, 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备。
8.   可搭载各规格探卡。
9.   主要部件可依据实际要求定制。
10. 探针台控制软件功能强大,开放代码,留有多个接口,可以把用户的测试端软件集成到总的控制软件内,方便用户在一个统一的界面下进行各种操作。例如可以把LabView的操控集成进入探针台控制软件,在主界面生产LabView的图标,直接在探针台控制软件下统一操作


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。