产品服务
PRODUCT

产品&服务

Products & Services

半导体配件耗材

主动隔震台

产地:德国
品牌:Accurion

Accurion 可以在半导体等诸多领域里提供主动减振解决方案,其产品广泛应用于许多微观和纳米技术领域:

1.  扫描探针显微技术(AFM, STM)
2.  纳米力学探针
3.  扫描电子显微技术(SEM, FE-SEM)
4.  共聚焦显微术
5.  超高真空扫描隧道显微术(UHV-STM)
6.  激光扫描显微镜
7.  液晶生产设备 • 半导体检测仪器
8.  膜片钳 (Patch-Clamp)技术
9.  光学轮廓仪 光学干涉仪

减振机理: 控制技术主要由压电陶瓷加速度感受器,快速处理及电子动态作用力传感器实现。
作用力方向:空间六自由度的主动补偿。
自动负载调节和运输锁定
优异的位置稳定性
没有自然的低频共振,因此在低于5Hz的频率范围内也具有出色的振动特性

如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。