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产地：英国 品牌：SPTS
该系统处理模块具有较高的灵活性，可支持300mm晶圆并向下兼容。
1. 基于现有SPTS等离子刻蚀平台 2. 相对于传统刀片切割有更大的产出，更高的良率 3. 系统可以搭载6个切割模块
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