产地:德国
品牌:Accurion
Accurion 可以在半导体等诸多领域里提供主动减振解决方案,其产品广泛应用于许多微观和纳米技术领域:
1. 扫描探针显微技术(AFM, STM)
2. 纳米力学探针
3. 扫描电子显微技术(SEM, FE-SEM)
4. 共聚焦显微术
5. 超高真空扫描隧道显微术(UHV-STM)
6. 激光扫描显微镜
7. 液晶生产设备 • 半导体检测仪器
8. 膜片钳 (Patch-Clamp)技术
9. 光学轮廓仪 光学干涉仪
减振机理: 控制技术主要由压电陶瓷加速度感受器,快速处理及电子动态作用力传感器实现。
作用力方向:空间六自由度的主动补偿。
自动负载调节和运输锁定
优异的位置稳定性
没有自然的低频共振,因此在低于5Hz的频率范围内也具有出色的振动特性
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