产地：美国
品牌：SemiProbe
SemiProbe的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级，且升级可在客户现场经行，机台不需返厂。由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等。
直流探针座和RF探针座通用，用户只要一种探针座，换上直流或RF探针，即可做不同的测试，方便又节省成本。其超高精度的亚微米级探针座，保证了高端精密测试的需求。同时探针座和业界主流的各种探针兼容，也大大降低了用户的使用成本。
其他主要技术规格：
1. 可满足18英寸的晶圆基底的测试要求，并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2. 高真空度，真空系统具有自保护功能。
3. 温度变换范围：-60℃-200℃。
4. 可选择液氮或者空气制冷。
5. 手动或者半自动方式探针测试方式。
6. 系统具有完善的通信接口。
7. 可选探针座或探卡测试方式。
8. 可外接黑体或者常见电学信号测试设备。
9. Stage及显微镜相关参数可依据客户要求定制。
如需了解更详细的设备信息，敬请与我们联系。
京公网安备11010802042554号
