产地：韩国
品牌：Midas
该光刻机具备较高的对准精度，CCD显示屏对准更为方便，液晶触摸屏操作，采用欧司朗紫外灯，寿命长。
1. 基片尺寸：4、6、8、12、25英寸，其他尺寸可定制
2. 光束均匀性：<±3%
3. 曝光时间可调范围：0.1 to 999.9秒
4. 对准精度：0.6-1微米 分辨率：1微米
5. 光束输出强度：15-25mW/cm2
6. 光源强度可控；紫外曝光，深紫外曝光(Option)
7. 曝光模式：真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式
8. 可双面对准，可双面光刻，具有IR和CCD模式
9. 特殊的基底卡盘可定做
10. 具有楔形补偿功能
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京公网安备11010802042554号
