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产地：美国 品牌：Agilent
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。其主要特点如下： 1. 体积小巧，占地小，特别适合大学和研究所小批量研发应用 2. 可检测漏率：5x10-12 mbar.l/s 3. 响应时间：<0.5秒 4. 可无线遥控操作 5. 具有RS232通信接口
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