产地：新加坡
品牌：ASTRO PLASMA
设备具有以下主要指标和特点
1. 高集成化的带温控台盘的微波等离子去胶机，满足2-12寸晶圆干法去胶或晶圆表面活化等工艺
2. 工业级电脑控制，Windows 操作系统，10.4寸触摸屏控制，图形界面显示, 图形化参数设置
3. 支持权限控制、安全互锁、多级菜单设置;可保存并导出运行、报警、错误等数据;导出数据格式兼容Windows Office软件
4. 2.45GHz微波,100~1200W连续可调，去胶效率和质量优于一般的13.56 MHz, 300W 系统
5. 标配2路MFC控制,最大支持4路
6. 接触式热盘加热，温度60~200℃可控(250℃可选)
7. 有手动及全自动设备
如需了解更详细的设备信息，敬请与我们联系。
京公网安备11010802042554号
