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半导体前道设备

匀胶/显影设备

产地:韩国
品牌:Midas


1.  转速: 100~8000rpm ±3% (@ No load )
2.  时间: 0.1~999.9sec (编程控制)
3.  产品尺寸: 可支持12寸晶圆并向下兼容
4.  可存储50个程序,每个程序可达50步,编程控制
5.  直流伺服电机驱动,精度高


如需了解更详细的设备信息,敬请与我们联系。