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产地：韩国 品牌：Midas
1. 转速: 100~8000rpm ±3% (@ No load ) 2. 时间: 0.1~999.9sec (编程控制) 3. 产品尺寸: 可支持12寸晶圆并向下兼容 4. 可存储50个程序，每个程序可达50步，编程控制 5. 直流伺服电机驱动，精度高
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